THK株式会社电动执行器洁净系列CKSF系列Clean系列非常适合需要清洁环境的环境。 执行器具有低尘埃产生结构，非常适合洁净室。

THK株式会社电动执行器洁净系列CKSF系列THK株式会社电动执行器洁净系列CKSF系列

核心型号参数总览

系列核心特点

• CSKR（低尘埃紧凑型）：密封钢带 + 抽气接头，CSKR20/26 达ISO 3 级（Class 1），CSKR33/46 达ISO 4 级（Class 10）。球保持器 LM 导轨 + QZ 自润滑，定位精度 ±0.003mm，高速 2000mm/s，适配垂直 / 狭小洁净空间。

• CKSF（高速洁净型）：简易洁净结构，大行程 1500mm、速度 2500mm/s，高负载（动载 58500N），电机直连，适配高速洁净搬运。

• CKRF（全覆盖洁净型）：U 形钢制外轨 + 全密封，四向等载、高刚性，紧凑机身，适配半导体检测、精密装配。

• CGL（通用洁净型）：GL 系列洁净版，球螺杆 / 皮带双驱，大行程 2720mm，ISO 4 级，适配长行程洁净场景THK。

选型与应用

• 选型：超高洁净选CSKR；高速长行程选CKSF；紧凑高刚性选CKRF；通用长行程选CGL。均支持步进 / 伺服，抽气接口适配无尘室负压。

• 应用：半导体制造、液晶面板、医药无菌、精密检测、电子组装等ISO 3–4 级洁净环境。