别再冒险徒手搬运 半导体车间酸液输送，让危险与污染清零
更新时间：2026-03-20 点击量：174
在半导体湿法刻蚀与清洗工艺的核心环节， 高纯度、强腐蚀性化学药液 的精确、无污染输送，直接关系到晶圆的洁净度与最终产品良率。如何从存储桶中安全、高效、无泄漏地将这些昂贵且危险的液体转移至工艺槽，是每个产线都必须解决的精细作业难题。
纳加霍里科技联合大阪大友 ，为您提供从“储运"到“投加"的完整、专业的化学品处理解决方案。其中，日本工进（KOSHIN）FC-103化学溶剂桶泵正是该流程中实现液体精准、安全输送的关键执行单元。首先，使用 大阪大友专业的酸液/化学品搬运车 ，将装有氟酸、硫酸、氨水、显影液等200L标准桶安全、平稳地运抵设备机台旁。搬运车专为腐蚀性液体设计，具备防泄漏、防溅洒、耐腐蚀及稳固定位功能，解决了长距离、重载搬运的初级风险。随后，将 KOSHIN 工进FC-103化学溶剂桶泵 的泵管插入桶内。其 全密封的聚丙烯（PP）泵体结构 ，可耐受多种化学溶剂腐蚀。启动后，药液被平稳抽出，通过 一键式手持流量调节阀 ，操作者可精准控制流速与启停，将液体安全输送至清洗机、刻蚀机等设备的供液口或工艺槽中。这一组合，实现了从仓库到机台、从大桶到设备的全程密闭、受控输送，极大降低了人工接触、泼洒、挥发和污染的风险，是保障工艺安全与稳定性的理想选择。KOSHIN 工进FC-103化学泵：为苛刻化学品输送而生核心产品：工进（KOSHIN） FC-103-AAA-1 电动鼓式泵KOSHIN工进FC-103鼓式泵是化学溶剂专用泵。专为输送各类酸、碱、溶剂等化学药液而设计， 与输送普通油品的油桶泵有本质区别。泵体及所有接液部件均采用耐化学腐蚀性优异的 聚丙烯（PP） ，确保与多种化学品兼容，杜绝污染与腐蚀。大流量约 80升/分钟 ，一个200L的标准桶， 约3分钟内即可完成输送 ，显著提升备料与换液效率。
- 全密封结构 ：有效防止有害液体泄漏和蒸汽挥发，保护操作人员与洁净室环境。
- 手持阀控制 ：操作者可在输送端安全位置一键控制流量，实现人机分离，提升操作安全性。
- 适配电源 ：标准日本100V电源（国内使用需配备专用100V隔离变压器），即插即用，安装简便。
- 材料安全，保障药液纯度 ：专用PP材质针对化学品优化，离子析出率低，避免引入金属污染，更适用于对洁净度有要求的半导体辅助工序（如设备外围药液补充）。
- 杜绝污染，保护工艺 ：全密闭输送模式，隔绝了空气中颗粒和水分对高纯化学品的污染风险，也防止了化学品蒸汽对洁净室环境的破坏。
- 操作安全，降低风险 ：相比人工倾倒或简陋工具， 工进（KOSHIN） FC-103电动鼓式泵实现了远程控制输送，大幅减少了操作人员直接接触危险化学品的机会，符合工厂安全规范。
- 提升效率，精准可控 ：快速输送结合精准的手动流量控制，使药液添加量更准确，减少了浪费和工艺参数的波动。
为确保安全，使用FC-103必须严格遵守以下条件：步骤 | 关键行动 | 说明与目的 |
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首先：确认兼容性 | 务必查询《FC泵耐化学性表（PDF）》 | 确认您计划输送的具体化学品名称、浓度、温度与PP材质的兼容性。并非所有化学品都适用。 |
第二步：评估环境 | 判断液体与环境的易燃易爆性 | 严禁使用FC-103电动型泵输送任何易燃、易爆液体！ 如有此类需求，必须选用气动防爆型号 FC-103A。 |
第三步：电源准备 | 配备100V隔离变压器 | FC-103为日本标准100V电源，在中国大陆使用必须通过专业隔离变压器供电，确保电压匹配与用电安全。 |
- 将搬运车运送来的 酸、碱、溶剂 从200L桶中抽出，输送至湿法清洗、刻蚀等设备的补液口或调配槽。
- 实验室或研发中心 高纯化学试剂 的安全分装与转移。
我们不仅是设备供应商，更是您半导体及制造领域流体处理工艺的合作伙伴。
- 方案集成专家 ：我们能为您规划从 大阪大友化学品搬运车 到 工进化学泵 的完整物料搬运与投加方案，确保流程无缝衔接。
- 专业合规指导 ：提供官技术资料，指导您完成严谨的化学品兼容性确认与防爆评估，确保选型与使用100%安全合规。
- 正装与保障 ：提供原装，并配套相应的电源适配解决方案及专业技术支持。
纳加霍里科技为您的湿法工艺构建更安全、高效、可靠的化学品输送链路！
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