长野计器 GW 系列压力表｜洁净耐蚀，精准守护半导体工艺

半导体制程对气体纯度、压力稳定与洁净度要求严苛，日本长野计器 NKS GW 系列压力表专为高纯度气体、腐蚀性气体工况设计，以全不锈钢结构、超洁净处理、高气密性能，成为半导体、电子、特种化工等领域的标准测量选择。

一、核心材质：全不锈钢，耐腐蚀

• 接液 / 接气部：SUS316 / SUS316L（波登管、底座、接头）

• 外壳 / 机芯：SUS304 / SUS316 全不锈钢

• 工艺：氩弧焊接 + 严格耐压 / 气密检测，无泄漏隐患

• 优势：耐一般腐蚀气体、酸碱流体、潮湿恶劣环境，长期稳定

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二、洁净设计：UC 超洁净处理，适配高纯工艺

• 镜面抛光 / 超低污染：内表面精密处理，减少杂质吸附与气体滞留

• 低死区结构（GW28 等）：隔膜式设计，死体积仅传统 1/2，易吹扫、易清洁

• 高洁净等级：适配半导体特气、电子特气、惰性气体、腐蚀性气体（HCl、NH₃、SiH₄等）

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三、规格齐全，灵活适配

• 表盘尺寸：φ28（GW28）、φ50（GW11）、φ60（GW16）

• 安装方式：径向（GW11）、轴向（GW16）、面板安装

• 压力量程：

• 正压：0～0.2MPa ～ 0～100MPa

• 负压 / 复合：-0.1～0.1MPa ～ -0.1～2MPa

• 精度：标准 ±1.5%FS（部分型号 ±3%）

• 接口：1/4VCR、1/4NPT、G1/4、R1/4（PT）等半导体标准接口

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四、安全可靠：工业级防护

• 内置安全泄压盘：波登管破裂时自动泄压，保护表窗与人员

• 耐压：最高 1.0MPa（依型号）

• 适用温度：标准 - 10～60℃（特殊可定制）

五、典型应用

• 半导体制造：晶圆制程、刻蚀、沉积、扩散、特气供气系统

• 电子 / 光伏：高纯气体管道、特种材料工艺

• 化工 / 石化：腐蚀性气体、高纯流体监测

• 科研 / 实验室：精密气体压力控制