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Product Category工业喷墨、生化分析仪、半导体显影液里,溶解氧和微气泡是隐形杀手——堵喷头、漂数据、曝光线宽不均。DIC 原装 SEPAREL® EF 系列(External Flow 外灌流中空纤维脱气模组)靠自研 SS 致密皮层膜,液体走膜丝外侧、真空抽内腔,只透气不透液,连含表面活性剂的墨水都能稳脱到 ppb 级。
EF 系列分两条线:EF-Small 微型/小流量款(嵌仪器、嵌喷墨支路)+ EF 标准工业款(产线纯水、清洗循环)。下面把型号捋清楚,再给选型逻辑。

真空度 2.7kPa 下的参考流量(80% 脱气 / 50% 脱气),耐压统一 0.2MPa,液体温度 5–45℃(X 款耐热更高)。
型号 | 80%流量 | 50%流量 | 尺寸 φ×L | 液/真接口 | 定位 |
|---|---|---|---|---|---|
EF-AG1SX | 6 mL/min | 40 mL/min | φ24×68mm | Luer / Luer | 超微量,生化仪、HPLC 流动相 |
EF-MICRO | 9 mL/min | 60 mL/min | φ23.5×91mm | Luer / Luer | 便携分析、桌面喷墨 |
EF-MICROX | 同 MICRO | 同 MICRO | φ23.5×91mm | Luer / Luer | 耐热升级(最高 60℃) |
EF-G2 | 50 mL/min | 170 mL/min | φ30×115mm | Rc1/8 / Rc1/8 | 微型喷墨支路、小清洗 |
EF-G2X | 同 G2 | 同 G2 | φ30×115mm | Rc1/8 | 耐热型 G2 |
EF-AG2 | 50 mL/min | 170 mL/min | φ29×122mm | Luer / Luer | 含活性剂墨水、试剂 |
EF-G3 | 500 mL/min | 1200 mL/min | φ45×141mm | Rc1/8 / Rc1/8 | 单片半导体小水路 |
EF-AG3 | 500 mL/min | 1200 mL/min | φ42×159mm | Rc1/8 / Rc1/8 | 光刻胶/涂布液脱泡 |
EF-G4 | 1000 mL/min | 2000 mL/min | φ60×141mm | Rc1/4 / Rc1/4 | 中小清洗循环 |
EF-AG5 | 1000 mL/min | 2000 mL/min | φ54×151mm | Rc1/4 / Rc1/4 | 大通量喷墨、诊断仪循环 |
(G3X/AG3X/G4X/AG5X) | 同对应非 X | 同对应非 X | 同对应非 X | 同对应非 X | X=耐热 50–60℃ 加强版 |
走 Rc 螺纹或 JIS 法兰,耐压 0.3–0.8MPa,覆盖 6 L/h 到 50 m³/h。
型号 | 流量范围 | 尺寸 φ×L | 耐压 | 接口 |
|---|---|---|---|---|
EF-002A(含 002A-P 低离子析出) | 6–720 L/h | φ109×182mm | 0.3MPa | Rc3/8 |
EF-010(含 010-Q 脱 CO₂专版) | 100–4000 L/h | φ170×430mm | 0.5MPa | Rc1 |
EF-020(含 020-Q) | 300–7000 L/h | φ170×680mm | 0.5MPa | Rc1 |
EF-040P | 500–11000 L/h | φ180×673mm | 0.6MPa | JIS 25A 法兰 |
EF-120 | 3000–50000 L/h | φ315×850mm | 0.6–0.8MPa | JIS 80A 法兰 |
1. 看流量区间
微流控 / 分析仪 <100 mL/min → EF-AG1SX / EF-MICRO
喷墨单色支路 50–200 mL/min → EF-G2 / EF-AG2
半导体单片小水路、诊断仪循环 0.5–1.2 L/min → EF-G3 / EF-AG3
中小清洗 1–2 L/min → EF-G4 / EF-AG5
设备内循环纯水 6–720 L/h → EF-002A
产线级 1–50 m³/h → EF-010 / 020 / 040P / 120
2. 看液体属性
含表面活性剂、喷墨墨水、光刻胶、CMP 浆料 → 优先 AG 系列(SS 膜抗浸润);纯水/缓冲液无活性剂 → G 系列或 EF-002A 起步。
3. 看温度
常温 5–45℃ 用标准款;高温墨水、60℃清洗水 → 直接上 X 后缀(MICROX / G2X / AG3X / AG5X)。
4. 看安装空间与接口
仪器壳内嵌 → 选 Luer 鲁尔微型款;设备柜内螺纹快接 → Rc 微型款;产线管阀 → EF-010 以上走 Rc 或法兰。
选型懒人结论:桌面仪→AG1SX;喷墨机→AG2/G3;光刻胶→AG3X;诊断循环→AG5;设备纯水→EF-002A;产线→EF-040P 或 EF-120。
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