半导体怕氧化？食品怕变质？东丽 LC-450A 为两大行业筑起“无氧防线”

0.1ppm 的氧气泄漏，可能让一整批晶圆报废；残氧超标 1%，气调包装食品货架期直接打折。

东丽（TORAY）LC-450A 凭借 0.1ppm～100% O₂ 超宽量程、东丽特制氧化锆传感器、内置泵连续采样及三重过滤保护，已在多个制造现场验证可靠。以下是来自一线的典型应用案例

1.半导体 · 晶圆 CVD/退火炉惰性气体保护监测

背景：某 12 英寸晶圆厂在 CVD 与退火炉氮气保护气氛中，需持续监测 O₂ 是否＜10ppm，防止晶圆表面微氧化影响良率。

方案：LC-450A 配硅过滤器吸附含硅气体，旁路采样炉出口惰性气管路，4–20mA 信号接入 DCS 系统实时报警。

效果：

• 检出下限达 0.1ppm，全程无漂移

  
  

• 氮气置换时间缩短约 20%，年减少惰性气体浪费

  
  

• 连续运行 6000h+ 无需更换传感器

  
  

2.液晶面板 · 玻璃基板清洗/传送区氧浓度管控

背景：某 TFT-LCD 产线发现玻璃基板边缘微氧化瑕疵，怀疑传送区氮气帘氧渗入。

方案：在氮气柜出口及传送区设 LC-450A 移动抽检点，自动切换 0–10ppm / 0–100% 量程验证充氮效果。

效果：

• 锁定两处密封垫老化导致微量氧渗入

  
  

• 整改后基板氧化瑕疵率下降约 37%

  
  

3.食品 · 气调包装（MAP）残氧抽检与工艺优化

背景：某肉制品企业 MAP 包装（N₂+CO₂）要求残氧＜0.5%，原手持检测仪不稳定。

方案：LC-450A 接穿刺采样针抽检成品袋内气体，0–1% 量程精准读取残氧值，数据存档追溯。

效果：

• 包装机充气参数优化后，残氧合格率提升至 99% 以上

  
  

• 配合 GMP 记录要求，实现残氧检测数据可追溯

  
  

4.新能源 · 锂电正极涂布干燥惰性气氛监控

背景：动力电池正极涂布干燥炉要求 O₂＜50ppm，防止 NMP 环境下材料氧化。

方案：LC-450A 安装于干燥炉排气支路，内置泵连续抽吸，配活性炭+棉质过滤器抗轻微有机物。

效果：

• 实时报警提示氮气补吹节点，氧含量全程＜30ppm

  
  

• 涂布正极材料批次一致性显著改善，设备维护周期延长