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看不见的氧,也要管得住|纳加霍里科技引进日本TORAY东丽RF-400氧气分析仪

 更新时间:2026-07-29 点击量:63

在 SMT 氮气回流焊、电子元件烧结、手套箱与制氮机在线监测等工艺里,氧含量往往以 ppm 级波动悄悄影响良率。传统电化学探头在含松香油雾、粉尘、微量有机物的“脏气氛"里容易漂移、中毒、寿命偏短。近期,纳加霍里科技(深圳)基于与日本 TORAY 东丽的供应协同,将 RF-400 / RF-400-01 氧化锆氧气分析仪 引入国内产线配套,为氮气保护与惰性气氛场景提供一套相对成熟的在线氧控参考方案。

看不见的氧,也要管得住|纳加霍里科技引进日本TORAY东丽RF-400氧气分析仪

测量原理:氧化锆浓差电池 + 能斯特方程

RF-400 核心采用 氧化锆(ZrO₂)浓差电池式 测量结构。氧化锆陶瓷在高温(约 700℃)下仅允许氧离子通过:一侧通参比空气,一侧接样气,两侧氧分压不同则氧离子由高分压侧向低分压侧迁移,产生电动势(EMF)。该电势与两侧氧浓度比满足 Nernst 方程,仪表据此换算出样气氧浓度。

整机以内置泵连续抽吸样气(1000–2000 mL/min),先经前置颗粒过滤、再入特殊滤芯、最后抵达小型氧化锆传感器,信号经 4 位 LED 显示并输出 4–20 mA + RS-232C,预热约 5 分钟可投入运行。



为什么适合“脏气氛"工况

  • 显色颗粒滤芯:前置新型颗粒过滤器遇油雾会变色,肉眼即可判断更换时机,无需拆机、无需专业判读。


  • 多层特殊过滤:可选配棉滤芯(挡粉尘)、活性炭(吸有机物)、硅滤芯(吸含硅气体),减少氧化锆元件污染与“中毒"风险。


  • 小型氧化锆长稳运行:东丽自研小型浓差传感器,无电解液损耗,24 h 零点漂移约 ±1% FS,1%–100% 量程重复性 ±1% FS,10 ppm–1% 段 ±2% FS。




关键参数速览(RF-400-01)

  • 原理:氧化锆浓差电池式


  • 量程:0–1 / 10 / 100 / 1000 / 10000 ppm 及 0–1% / 10% / 100% O₂ 自动切换(<10 ppm 不在精度保证内)


  • 采样:内置泵连续吸入,样气压力 ≤30 kPa,温度 0–50℃


  • 输出:4–20 mA 隔离 + RS-232C,H/L 浓度报警无源触点


  • 电源:AC 100–240 V,约 50 W,主体 210×134×300 mm,约 6.5 kg


  • 安装:桌面型 / 面板嵌入式两用,气口 Rc1/4(IN/BYPASS/OUT)



典型适配场景

SMT 氮气回流焊炉残氧监控、MLCC 与粉末冶金烧结炉、LCD 玻璃基板热处理、晶圆储存手套箱、现场制氮机出口氧含量巡检等。

选型提示:RF-400 侧重“耐脏气 + 回流焊集成",洁净气体场景可同步看 LC 系列;样气含液态水、强腐蚀性卤素或可燃组分时需先评估预处理。