突破ppb级脱气壁垒，DIC SEPAREL®中空纤维膜模组赋能精密制造新高度

在半导体晶圆清洗、工业喷墨印刷、精细化工等制造领域，液体中看不见的微量溶解气体与微气泡，往往是引发管路氧化、喷头堵塞、工艺缺陷的“隐形元凶"。传统脱气设备常面临体积庞大、压损高、无法连续在线处理等短板，难以满足严苛的ppb级工艺标准。近日，深圳纳加霍里正式引进，DIC集团旗下SEPAREL®品牌凭借自研SS非多孔中空纤维膜技术，推出覆盖纯水、表面活性剂、喷墨墨水、酸碱有机溶剂等多介质的模块化脱气解决方案，以“在线脱气+供气一体化"能力，为精密工业注入稳定新动能。

看不见的气体，看得见的隐患

在精密工业生产中，液体内部看不见的溶解气体与微气泡，往往是工艺不稳定、成品不良的隐形元凶。超纯水残留溶解氧会造成管路氧化腐蚀；喷墨墨水气泡会引发断墨、飞墨；化工药液气泡则导致制程良率下滑。即使肉眼不可见，接触空气的液体中也含有氮气、氧气等空气成分。当液体压力下降或温度升高时，这些溶解气体便会析出形成微气泡，引发管道生锈、喷头堵塞、检测干扰等各类问题。提前脱气可以有效预防此类现象。

与脱气相反，供气（Gas Supply）则是将气体（O₂、N₂、H₂、CO₂等）选择性溶解到液体中，为液体增加功能性，如碳酸饮料中的二氧化碳溶解。两者均遵循“亨利定律"：液体中溶解的每种气体的量与气体侧的压力成正比。降低气体侧压力，溶解气体量就会减少；若气体侧压力设为零（真空），液体中溶解的气体量也会趋近于零。

传统脱气之困，膜法破局

传统脱气方法包括加热法、化学法、减压水箱法、真空脱气塔法等。加热法易导致液体成分波动；化学法仅对特定气体有效且引入化学品；减压水箱法液气界面小、脱气时间长；真空脱气塔法安装成本高、装置体积大。

如何提升脱气性能？液气接触面（界面）越宽，脱气效率越高。但单纯扩大界面需要很大的空间，装置体积会变大，且较长的脱气时间可能导致液体劣化。使用中空纤维膜是理想的解决方案——它不仅能在紧凑空间内极大扩展液气界面，还能缩短脱气所需时间，实现连续在线处理。膜脱气法通过膜基气体渗透去除溶解气体，使用中空纤维膜可在紧凑空间内实现巨大边界面积，支持流动液体中连续脱气，安装成本低，还可结合氮气置换等方法，综合优势显著。

DIC SEPAREL®的三大核心优势

DIC SEPAREL®中空纤维模组，依托自研SS非多孔中空纤维膜技术，实现ppb级别深度脱气，同时兼具在线脱气、气体供给双重能力，紧凑结构搭配低压损设计，可直接集成产线，为不同流体工况提供成熟稳定的模块化脱气方案。

1. ppb级高精度脱气：优异脱气性能，可将液体溶解气体降至ppb水平，满足半导体、喷墨、精细化工等端精密工艺要求。

2. 在线脱气+供气一体化：支持产线在线连续处理，既可脱除溶解气体，也可向液体供给工艺气体，实现气体溶解，无需停机改造，保障产线不间断运行。

3. 紧凑结构、低压损：独特内部流道结构设计，设备体积小巧，压力损失低，节省现场安装空间，同时降低后端泵体负载，有效减少系统能耗。

核心黑科技：SS非多孔中空纤维膜

市面上中空纤维膜主要分为多孔膜与非多孔膜两大类。普通多孔膜容易被低表面张力液体浸润渗透，极易出现膜件失效，介质适用范围受限。SEPAREL采用DIC独立开发SS异质非多孔中空纤维膜，结构为多孔内膜支撑层+外侧1μm致密无孔皮层，从材料结构上规避传统多孔膜的各类痛点。

• 适配低表面张力流体：外层致密皮层无孔隙，可稳定处理高浸透性液体，兼容含表面活性剂的料液。

• 气体透过性能优异：膜丝基材PMP（聚‑4‑甲基戊烯‑1）本身透气性能强，加上皮层厚度仅约1μm，气体穿透阻力小，保障高效脱气。

• 超细膜丝，小体积大膜面积：膜丝外径仅约180μm，属于中空纤维膜品类中极细规格，在有限模组空间内实现巨大有效膜面积，做到设备小型化与高性能兼顾。

完整产品矩阵，覆盖全场景

SEPAREL模组分为内部灌流PF系列、外部灌流EF系列，搭配耐化学PF‑F系列，覆盖绝大多数工业流体工况，不同流路结构可以根据流量、介质、杂质含量灵活选型。

• PF系列（内部灌流模组）：液体走中空纤维内侧，气体走膜丝外侧。优势是可液体逆流冲洗，膜丝发生颗粒堵塞时便于清洗维护，通用性强，运维成本更低。材质为PMP，适用介质包括纯水、表面活性剂液体、各类喷墨墨水。

• EF系列（外部灌流模组）：液体在中空纤维外侧流动形成湍流，气体走膜丝内腔。优势是增大溶解气体与膜接触频次，脱气性能优于PF系列；压力损失更低，支持做大流量大型模组，适合高要求大批量产线。材质为PMP，适用介质包括纯水、表面活性剂液体、各类喷墨墨水。

• PF‑F系列（化工药液专用模组）：接液全部采用PTFE氟树脂材质，耐强腐蚀。适用介质包括酸、碱、有机溶剂、光刻药液等腐蚀性流体，面向半导体、LCD制程药液脱气消泡。

多行业落地，痛点精准击破

SEPAREL产品已广泛应用于超纯水系统、表面活性剂体系、喷墨行业、半导体/LCD制程、试剂检测样本等多个领域。拓展选配的eFlow超纯水防静电装置，依托中空纤维膜向超纯水供给CO₂，调控比电阻，抑制静电带来的灰尘再附着、线路静电损伤问题，多用于半导体晶圆清洗工序。

DIC SEPAREL拥有丰富型号规格，覆盖小流量实验室工况到工业大流量产线，模块化设计便于集成到现有设备，无需大规模改造产线。凭借自研SS非多孔中空纤维膜技术与三大产品系列，SEPAREL正为全球精密制造企业提供高效、稳定、紧凑的脱气与供气解决方案，助力gao端制造突破气体干扰瓶颈，迈向更高质量的发展新阶段。

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