NKS 长野计器 ZT11 半导体高纯压力传感器采用气相沉积薄膜半导体应变片传感元件，体积小巧轻量化，适配设备内部狭小安装空间；分为 GP 通用、EP 电解抛光、UC 超洁净三个洁净等级，支持表压、绝压、复合压，同时提供标准款、增安防爆、本安防爆版本，广泛用于半导体气体分配系统、气体柜、刻蚀、CVD、PVD 等高纯工艺管路压力监测

NKS 长野计器 ZT11 半导体高纯压力传感器

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