KOTOHIRA 琴平 KTV-CR1-SUS｜半导体洁净室的微尘克星

✅ ULPA 三层过滤，0.12μm 微尘 99.999% 拦截

半导体车间的硅屑、焊锡残渣、气溶胶等微尘，极易导致电路短路、晶圆划伤。KTV-CR1-SUS 采用一次性滤袋（7.6L）→布过滤器→ULPA 终端过滤的三层递进结构，对 0.12μm 及以上颗粒物过滤效率达 99.999%。无论是细微粉尘还是气溶胶，均能精准拦截，排气洁净度符合 ISO 4 级标准，从根源减少二次污染，守护晶圆与精密元件安全。

🛡️ 全 SUS304 不锈钢 + 密封结构，适配严苛洁净环境

整机采用SUS304 不锈钢机身，耐腐蚀、低析出、易擦拭灭菌，无卫生死角，符合 GMP 与 ASTM E595 释气要求，长期使用不易变形、掉漆，减少粉尘残留与堆积。全密封一体式设计，出厂前经过严格气溶胶泄漏检测，吸尘过程有效防止粉尘外逸，改善传统设备排气带尘问题，保障洁净室环境稳定。

⚡ 防静电 + EMI 屏蔽，不干扰精密芯片与仪器

半导体设备对静电与电磁干扰极度敏感。KTV-CR1-SUS整机防静电接地，表面电阻≤10⁶Ω，符合 IEC 61340-5-1 标准，有效抑制静电放电，规避芯片受损风险。同时搭载EMI/RFI 电磁屏蔽，运行时不干扰光刻机、检测设备等精密仪器，确保生产过程稳定，降低产品不良率。

🔧 紧凑低噪 + 高效易维护，适配 24 小时连续作业

机身尺寸 410×410×560mm，净重仅 9kg，搭配脚轮设计，可灵活穿梭于设备缝隙、车间角落，狭小空间作业无压力。690W 低功耗，吸力达 20.5kPa，风量 2.3m³/min，兼顾高效与节能；2 米处噪音≤60dB (A)，运行安静，不影响精密作业。7.6L 大容量一次性滤袋，更换便捷无污染，无需频繁维护，适配半导体产线 24 小时连续运行，减少综合运维成本。

🏭 半导体全场景适配，筑牢洁净生产防线

• ✅ 光刻区 / 晶圆切割：清除硅粉、微粒，减少光刻缺陷与晶圆划痕；

• ✅ 封装 / 测试工位：吸附焊锡残渣、粉尘，保障引脚清洁与测试精准；

• ✅ 洁净室日常维护：高效清理地面、设备表面微尘，维持 ISO 4 级洁净度；

• ✅ 精密电子 / 芯片车间：适配高洁净度要求，守护微小元件生产安全。

  
  

从高等级精密过滤防微尘到密封防静电保障生产，从低噪节能稳运行到便捷维护降成本，KOTOHIRA 琴平 KTV-CR1-SUS 以扎实性能，满足半导体行业超高洁净标准，是洁净室除尘的优质选择，助力企业提质增效、绿色生产。

纳加霍里科技（深圳）有限公司作为KOTOHIRA琴平在国内正规授权代理商，可为客户提供选型匹配、批量供货、技术咨询及售后维保等一站式服务，助力企业优化设备配套方案。如需了解详细技术资料、获取选型建议，欢迎随时与我们联系。